전체적 구성은 10장으로 이루어져 있으며, 제0장에서는 산업으로서의 반도체 제조장치를 해설하였고, 제1장에서는 반도체 디바이스의 제조공정과의 관계를, 제2장에서는 반도체 제조기술의 진보와 함께 장치의 기술사를 다뤘다. 제3장부터 제5장까지는 반도체 제조장치가 가지는 역할, 분류, 구조, 방식 및 장치에 대해 설명하였고, 제6장에서는 반도체 공장의 현장 관점에서 반도체 제조장치를 조명해봤으며, 제7장에서는 반도체 제조장치의 기본적 요소, 제8장에서는 반도체 제조장치기술의 로드 맵, 제9장에서는 21세기의 반도체 제조장치에 대해 기술하였다.
